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NS-XY100Z100-01 重載XYZ三維納米定位平臺
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產品編號
NS-XY100Z100-01
所屬分類
三維納米臺
數(shù)量
-
+
庫存:
1
產品描述
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NS-XY100Z100-01 重載XYZ三維納米定位平臺
NS-XY100Z100-01是一款高精度大負載三維納米定位平臺，負載可達 5kg。閉環(huán)行程可達100/100/100μm，閉環(huán)分辨率 0.5/0.5/0.5nm。
典型應用
• 顯微成像 • 半導體加工
• 激光加工 • 光學測量
• 表面檢測
關鍵詞:
重載位移臺
納米位移臺
壓電定位臺
高精度定位系統(tǒng)
納米定位平臺
三維位移臺
柔性鉸鏈平臺
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